第140章晶圓切割裂紋異常
陽光正好，微風不燥。
姜華邁著六親不認的腳步，徑直走到了吸煙區，朝著潔白的墻壁一靠，用牙齒咬了一根香煙，將雙手插在了褲兜里，腦袋不時擺動一下，眼睛東瞅瞅西望望，一副痞帥的樣子。
這個工廠隊伍最龐大的是生產部，作為前道主管，他可是生產部的老二。
老二就要有老二的樣子，最近他無形之中養成了走路的時候六親不認的習慣，抽煙的時候也懶得用手，就用牙齒咬著一直抽，香煙燒到嘴巴邊了，他就往后拉一下嘴唇，露出一排已經被熏黃了的牙齒。
“老同學，有啥事呢？”姜華歪著腦袋問道。
“昨天安排工程技術人員用假片做工藝驗證，也不知道情況怎樣了？”辛佟用手指彈了彈煙灰說道。
“等會咱們一起去車間看看！”
“我隱約感覺這個項目并不簡單，摩托羅拉的項目，我們千萬不能掉以輕心。”辛佟抬起頭仰望著蔚藍的天空說道。
“下一周客戶來晶圓了，是驢子是馬，拉出來溜溜就知道了。”
抽完煙，二人徑直來到了晶圓減薄車間。
昨天去減薄看了一眼，他就無師自通了？
現場只有一名工藝技術員在場，姜華一把就將他抓住了：“昨天安排你們工藝做驗證，你們有做過150μm減薄驗證嗎？”
還好，這只是假片驗證，要是直接拿客戶的實驗片驗證，估計很快就會把實驗片用完了，重新申請實驗片走流程跑物流起碼要耽擱一個月時間。
“粗磨選用325#的磨輪，沒有錯，不過粗磨過后形成的損傷層大約為20μm左右，粗糙度約為1.5μm，精磨使用900#的磨輪，其損傷層大約為5μm左右，粗糙度約為0.5μm，這樣的高低不平紋路，會造成應力集中，使后續工藝劃片產生裂紋，我建議精磨采用2500#磨輪試試，假片做完之后測量一下翹曲度，如果翹曲度小于200μm，你們安排切割驗證。”辛佟非常自信地說道。
辛佟笑了笑，要不是剛才咨詢張凱峻，他也一頭霧水。
看著工程部老大和ws天王對辛佟的分析連連點頭，姜華也驚呆了，這么說老同學的本領已經超過這些頂級高手了？
關鍵是他都沒有在晶圓減薄工序呆過一天啊！
“這個回去還要從4m1e的角度排查一下！”謝工回答道。
“好的，辛經理，我們按照你的要求再做一些假片驗證！”謝劍風點了點頭。
“這么說來，應力還是來自于減薄工序，那么我想問你，你有測量過減薄后晶圓的翹曲度嗎？”羅高工問道。
“是的！”謝工點了點頭。
辛佟暗自感嘆，真沒有想到謝工也考慮到減薄的應力了啊，天王就是天王，不過400μm是不是有點大了？
“220μm晶圓減薄后的翹曲度你量過嗎？”辛佟抬起頭問道。
這么說問題的根源就是晶圓的翹曲度了！
如何降低晶圓減薄之后的翹曲度呢？
辛佟靈光一閃，突然想起了斯米克晶圓廠的張凱峻，這個畢業于青華大學的晶圓工程師肯定知道。
“是嗎？”辛佟心中一緊。
辛佟投過去崇敬的目光，羅高工的邏輯推理能力真是太強大了，因為晶圓產生應力后肯定會有蛛絲馬跡可查的，輕微變形肯定跑不掉。
從會議室里出來，姜華拉住了辛佟，忍不住問道：“老同學，你不是干鍵合出身的嗎？怎么對減薄也這么精通？”
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