眾所周知，激光從發射器中產生，經過物鏡的處理，最終打在曝光臺上，在硅基晶圓上刻蝕晶體線路，完成這一整套程序的機器，就叫做光刻機。
昆侖科技沒有造光刻機的基礎，但是他們有光學研究院，有世界上最好的鏡片打磨和校準系統。
于是，高原將光刻機內部重要的物鏡系統造了出來，這套物鏡可以安裝在國產光刻機臺，至于能否起到逆轉乾坤的效果，接近甚至超越荷蘭asml，則要經過一系列復雜的實驗與磨合。
一間會議室里，眾人聽取來自吳東明的簡報，吳東明將這次參觀昆侖集團的過程以及收獲，匯報給眾位大佬，隨即回到自己的座位，作為工信部實權人物，吳東明的座位被安排在最后一排，足以說明這次會議的格局之高。
“高原什么意見？”有個聲音問道。
“他沒什么意見，只說要是將中芯賣給他的話，他能少奮斗十年，否則就必須要從零開始了，昆侖集團雖然龐大，此前卻沒有半導體部門。”吳東明道。
大佬們紛紛頷首，事情很明顯，高原有決心，但缺乏經驗積累和人手，而目前華夏范圍內，只有國家隊才可能為他輸送足夠多的彈藥。
“賣給他？合作不行嗎？”又有大佬說道：“讓中芯和昆侖成立合資企業，向他們和航天集團那樣，一起研究，成果共享。”
吳東明搖了搖頭說道：“不可能的，中芯里面不僅有國資，還有一部分外資，高原說，他和航天集團合作沒有問題，因為航天集團的身份清清楚楚，而中芯嘛，明擺著里面有外資的企業，高原是不會合作的。”
哎～
大佬們紛紛扶額，某大佬感慨道：“沒想到，高原一個私企，卻比我們還激進。”
眾人感慨，高原還真是個頑固的家伙，眼睛里容不下一丁點沙子，其實外資在中芯占比本來就不高，組建合資公司再進行一下稀釋，應該掀不起多大風浪。
但高原依然不認可這樣的方案，哪怕外資只占百分之一，他也是頑固不肯答應。
“還有呢？”大佬再問。
“高原說，如果中芯的事情一時半會兒搞不定，先批準他與長春光機合作也可以，畢竟他們的透鏡系統，只是光刻機的零部件之一，還要與相關企業合作，才能整合出完整的光刻機。”吳東明道。
這個要求非常合理。
大佬們紛紛點頭，世人常常以為，上海微電子是國家隊負責搞光刻機項目的，其實不對，的極紫外光刻機，一直由長春光機所負責攻堅，代號02專項。
所謂光刻機02專項，總體架構是這樣的。
清華大學和帝都華卓精科，他們兩家負責雙工件臺系統，目前項目進度比較快，已經基本解決了所有問題，因此，華夏成為是世界上第二個掌握該項技術的存在。
而第一個拿下雙工件臺的是荷蘭asml，他們的twinscan技術，已經投產數年時間了，被證明性能可靠。
浙江大學流體動力與機電系統實驗室，與浙江啟爾機電，這兩家負責沉浸式光刻機的浸液系統，目前已經基本完成，是繼荷蘭asml和日本尼康之后，全球第三家掌握該項技術的存在。
準分子激光光源，是中科院光電研究院負責的，傳聞目前只能做到40w功率，而荷蘭asml采用的光源，功率在2019年就達到了250w，這方面差距還是比較大的。
至于荷蘭asml的光源供應商，是北美cymer和日本gigaphoton。
最后也是最重要的光學系統，由長春光機所負責物鏡，上海光機所負責照明，項目進度未知。
至于荷蘭asml的物鏡和照明，來自大名鼎鼎的德國蔡司。
凡是了解攝影的人，應該都知道蔡司的鏡片水準有多高，當然了，普通消費者多數并不知道，其實卡爾蔡司集團，還有半導體部門。
由此可見，所謂全球最強的荷蘭asml光刻機，背后其實是標準的萬國造，將全世界所有頂級技術堆在一起，才組成了asml極紫外光刻機。
因此，華夏光刻技術要挑戰的不是asml，而是全世界。
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