什么情況

現在對著圖紙，依葫蘆畫瓢都搞不這定，郁悶了？

劉林感覺到一陣無力感，所有技術參數都是現成的，也有著詳細的加工數據，又不是說加工設備不行，超級加工中心的精度要比圖紙高出幾倍。

現在對著數據照抄啊，大哥，這樣都搞定？

到底哪里出問題了？

劉林揉了揉腦袋，靠在椅子上不停的思索著，這個致命缺陷，哪里出在哪？

要知道技術攻關小組成立已有差不多一個星期了，要人給人，要設備給設備，總公司那邊不管要什么，都以最快的速度送過來！

甚至準備加入劉林組的羅小文，也被拉進了這個臨時攻關小組，最后就連劉林也參與了進來，而結果呢，唉。

這段時間，劉苛他們試了一次又一次，但結果就沒不如人意，要知道劉苛等人，隨便拉一個出來，都不比華國拿著特殊曾貼的院士差。

現在四人又加上劉林，整個玖安科技的技術大拿都參與進去了，從開始充滿希望后現在，已經充滿了絕望。

高科技研究就是個無底洞，這句話，在此時被劉林等人表示的淋漓盡致。

只是短短一幾天時間內，劉苛帶領的臨時攻關小組，材料，設備等等，已經花掉了接近2千萬。

花掉就花掉了，但問題是，現在沒解決問題啊！

這些錢等于打水漂了，如果按這樣敗下去，別說玖科技，就算國家來了，也扛不住啊。

失敗之后，就是找出問題同總結經驗。

但，現在問題出在哪都不知道，還解決毛問題。

這只是等離子刻蝕機其中一個技術難點，像這樣同等難度的問題rdd離子激光儀，還有好十幾個呢，這只是rdd離子激光儀的問題，還沒算難度便大的，等離子刻蝕機和浮動光刻機呢！

劉林想了想，伸手把放在桌子上的rdd離子激光儀的料資拿了起來。

rdd離子激光儀，又叫等pdd激光平面刻印儀，是工業微電子中非常常用的加工設備。

rdd離子激光儀，是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

某種程度來講，等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。

進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反應室，氣體被導入并與等離子體進行交換，等離子體在工件表面發生反應，反應的揮發性副產物被真空泵抽走。

rdd離子激光儀實際上便是一種反應性等離子工藝，反應性激光體（rie），順流激光體（ds），直接激光體（dp）。

感應激光體刻蝕法（edrt）是化學過程和物理過程共同作用的結果。

它的基本原理是在真空低氣壓下，ed射頻電源產生的射頻輸出到環形耦合線圈，以一定比例的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電，產生高密度的激光，在下電極的rt射頻作用下，這些等激光對基片表面進行轟擊，基片圖形區域的半導體材料的化學鍵被打斷，與刻蝕氣體生成揮發性物質，以氣體形式脫離基片，從真空管路被抽走。

劉林看了看，把眉頭都皺成一團，之前因為就大概的掃了兩眼，沒詳細看，結于其難度可以說是很模糊，畢竟全部資料都是現成的，不需要設計，也不需要研發，跟著圖紙制造出來就行了！

看來是自己想簡單了！

劉林用手揉了揉，感覺發痛的太陽穴，吐了一口濁氣，把資料往下翻！

劉苛等人看到劉林認真的在翻資料，便對著桌觀上的配件再一次仔細觀察，希望能找到問題出在哪。

ed設備主要包括預真空室、刻蝕腔、供氣系統和真空系統四部分。

預真空室：預真空室的作用是確保刻蝕腔內維持在設定的真空度，不受外界環境（如：粉塵、水汽）的影響，將危險性氣體與潔凈廠房隔離開來，它由蓋板、機械手、傳動機構、隔離門等組成。

刻蝕腔體：刻蝕腔體是ed刻蝕設備的核心結構，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響，刻蝕腔的主要組成有：上電極、ed射頻單元、rt射頻單元、下電極系統、控溫系統等組成。

供氣系統：供氣系統是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體，通過壓力控制器（p）和質量流量控制器（f）精準的控制氣體的流速和流量。

真空系統：真空系統有兩套，分別用于預真空室和刻蝕腔體。

刻蝕腔體就是現在桌子上卡動不彈不了的那組合件。

現在刻蝕腔體就把劉林給卡住了，后面還有曝光鏡頭，d相機等十幾個同等難度的組合件呢。

rdd離子激光儀工藝技術精度是01μ！

劉林看到精度的時候，太陽穴不由的又跳了跳，要知道超級加工中心精度才0001，都是同一個級別了好吧。

臥槽

劉森差點爆了個粗口，太坑爹了吧，不出問題才就怪事了，以現在的工藝基本就加工不出來好吧。

超級加工中心還是自己用作弊手段才弄出來的好吧，現在想直接加工到01μ，想多了吧，晚上睡覺多放個枕頭。

夢中什么都有了，劉林看到這，基本可以肯定不是自己技術不行，而是自己所用的設備，根本沒辦法把rdd離子激光儀制造出來。

因為不是一個層次的東西。

全世界有一家算有家，如果誰能制造出來，劉林直接叫他爹都行。

劉林瞄了眼好像還有最后一頁，本來就不想看的，那就瞅兩眼吧，至少知道后面還有什么困難等著自己！

三分鐘后，劉林放下手中的資料。